国家/地区 美国(6) 韩国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(6) C23(3)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(3) C01B021/064(2) C01B025/00(2)
C01B032/182(2) C01B032/186(2) C23C016/50(2)
H01L021/285(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2)
发明人 LEE C(6)
公开年 2022(3) 2023(2)
申请年 2021(6)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)