国家/地区 美国(23) 中国(17) 韩国(17) 世界知识产权组织(17) 日本(13) 台湾(9) 欧洲专利局(EPO)(7) 印度(4) 德国(3) 澳大利亚(2) 法国(2) 英国(2)
IPC部 C(41)
IPC大类 C01(41)
IPC小类 C01B(41)
IPC C23C016/26(23) C01B032/186(17) C01B032/194(11)
C01B032/184(9) H01L021/02(9) H01M004/38(9)
B82Y030/00(8) C23C016/02(8) C23C016/56(8)
H01M004/62(8) B82Y040/00(7) H01M004/36(7)
C01B032/05(6) C01B032/182(6) H01M004/587(6)
发明人 GLASS H(2) GUINEY I(2) IFUKU R(2)
LIM J(2) MATSUMOTO T(2) NARKEVICIUTE I(2)
SHARMA K(2) THOMAS S(2) TYLER M(2)
VARADARAJAN B N(2) WALLIS R(2)
公开年 2021(41)
申请年 2020(18)  2021(16)  2019(7) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) DAEJOO ELECT.(2) LAM RES CORP(2) PARAGRAF LTD(2)
UNIV SINGAPO.(2) YAZAKI CORP(2)