国家/地区 台湾(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(8) B82(2)
C23(2) C30(2) H05(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B032/182(6) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
H01L029/78(3) B82Y040/00(2) C01B032/186(2)
C01B032/194(2) C23C016/455(2) H01L021/336(2)
H01L029/10(2)
发明人
公开年 2022(8)
申请年 2022(8)
专利权人 TAIWAN SEMIC.(3)