国家/地区 |
台湾(8)![]() |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)
H01(8)
B82(2)
C23(2) C30(2) H05(2) |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C01B032/182(6)
H01L021/02(3)
H01L029/16(3)
H01L029/78(3) B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2) C23C016/455(2) H01L021/336(2) H01L029/10(2) |
发明人 | |
公开年 |
2022(8)![]() |
申请年 |
2022(8)![]() |
专利权人 | TAIWAN SEMIC.(3) |
TSUJIMOTO H, KOBUNE T, LI L, LEE L, KOBUNEDAKAKI
DIXON S, KAINTH J, JAGT R, GUINEY I, BADCOCK T J
ARNOLD M S, JACOBBERGER R M, GOPALAN P, DWYER J H
SUI X, LI M, CHUNG C, LU M, YANG S, SHUE S, LEE M
FAVORS Z, PATTERSON D, ALBANO F, BURGER B
WU Z, NI I, XU Y, HUANG J, WU C, HSU Y, HUANG J Z, HSU Y H