国家/地区 美国(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B32(10)
IPC小类 B32B(10) C25F(10) C01B(9)
B82Y(3) H01L(3) B05D(2)
C23C(2) C25B(2) C25D(2)
IPC C25F005/00(10)
发明人 GUO L(3) HAN S(3) LI X(3)
HUYGHEBAERT C(2)
公开年 2014(3) 2015(3)
申请年 2012(5) 
专利权人 INT BUSINESS.(3) IMEC VZW(2)