国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 日本(3) 台湾(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 英国(2) 韩国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B82Y(3)
H01L(3) B01J(2) C01G(2)
IPC C23C016/56(6)
发明人 GLASS H(2) GUINEY I(2) THOMAS S(2)
TYLER M(2) WALLIS R(2)
公开年 2021(6)
申请年 2020(4)  2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(2)