国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C23C(6) B82Y(3)
B05D(2) B32B(2) C30B(2)
H01G(2) H01L(2)
IPC C23C014/58(6)
发明人
公开年 2010(2)
申请年 2013(2) 
专利权人