国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C30B(8)
IPC C01B031/04(7) C30B029/02(6) C23C016/26(3)
C30B025/18(3) C01B031/02(2) C01B032/186(2)
C30B025/02(2) C30B029/64(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(8)
申请年 2014(8)
专利权人