国家/地区 中国(6) 美国(3) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C08(10)
IPC小类 C23C(10)
IPC C23C014/06(10)
发明人
公开年 2021(4) 2018(3) 2023(2)
申请年 2020(3)  2018(2)  2022(2) 
专利权人 KOREA INST S.(2)