国家/地区 韩国(6) 美国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(12) H(6) B(3)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C01B(8) H01L(4)
B01J(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(10) C01B031/02(8) B01J019/08(2)
C23C016/44(2)
发明人 CHO S M(2) WON D K(2)
公开年 2012(12)
申请年 2010(12)
专利权人 SAMSUNG TECH.(2)

JOO I L, CHAN Y H, KWONJAE Y, JUNG H K, YONG S Y, YONG H S, GEUN W L