国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(6) B82Y030/00(5) C01B032/186(5)
B82Y040/00(4) C01B032/182(4) C01B032/184(3)
C01B032/194(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
H01M004/62(3) C23C016/02(2) C23C016/46(2)
H01B001/04(2) H01B005/14(2) H01B013/00(2)
发明人
公开年 2018(6) 2017(3)
申请年 2017(10)
专利权人