国家/地区 韩国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(9) B32B(6)
H01L(3) B01J(2) B05D(2)
B82Y(2)
IPC C23C014/06(14)
发明人 AHN S(2) CHO S(2) CHO S H(2)
KIM J H(2) KIM M J(2)
公开年 2021(4) 2012(2) 2016(2) 2018(2)
申请年 2020(4)  2011(2)  2013(2)  2016(2) 
专利权人 EV GROUP THA.(2) KOREA INST S.(2)