国家/地区 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7) B(4) H(3)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(4) B82Y(3)
B32B(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/01(7)
发明人 WANG D(2)
公开年 2013(7)
申请年 2012(4)  2013(2) 
专利权人