| 国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(7)
B(4)
H(3)
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| IPC大类 |
C23(7)
|
| IPC小类 |
C23C(7)
C01B(4)
B82Y(3)
B32B(2) H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/01(7)
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| 发明人 | WANG D(2) |
| 公开年 |
2013(7)
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| 申请年 | 2012(4) 2013(2) |
| 专利权人 |
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
LIU Y, WANG D, TAN S, YANG Y
HAO Y, NING J, HAN D, YAN Y, WANG D, ZHANG J, CHAI Z
REN F, YING J, JIANG C, XIAO X, DAI Z
