国家/地区 美国(8) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 中国(2) 德国(2) 英国(2) 韩国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) B82Y(7) H01L(7)
C01B(6) B32B(3) B05D(2)
H01B(2)
IPC C23C016/02(9)
发明人
公开年 2013(9)
申请年 2012(4)  2013(4) 
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E