国家/地区 韩国(6) 中国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10) B(5) H(4)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10) C01B(4) B82Y(2)
H01J(2) H01L(2)
IPC C23C016/505(10)
发明人 LEE C(3) LEE C S(3) SHIN H(3)
SHIN H J(3) SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2021(4) 2022(3) 2023(3)
申请年 2021(10)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)