国家/地区 中国(52) 美国(25) 韩国(15) 世界知识产权组织(12) 日本(6) 台湾(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 印度(2) 新加坡(2)
IPC部 C(77)
IPC大类 C23(77)
IPC小类 C23C(77) C01B(32) H01L(13)
B82Y(11) C30B(8) H01J(5)
H01M(5) C23F(3) H01B(3)
B01J(2) B22F(2) C01G(2)
C08J(2) C21D(2) C22F(2)
IPC C23C016/52(77)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) HE P(3)
LIU Y(3) WU T(3) ZHANG L(3)
CUI H(2) FAN T(2) GUO C(2)
LI C(2) LI P(2) LIU L(2)
LIU S(2) LIU X(2) LIU Z(2)
公开年 2021(17) 2022(10) 2020(8) 2014(7) 2017(7) 2018(6) 2023(6) 2016(5) 2013(4) 2012(3) 2019(2)
申请年 2016(13)  2020(13)  2021(12)  2022(10)  2019(7)  2013(5)  2012(4)  2014(3)  2018(3)  2011(2)  2015(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) NINGBO INST .(3) APPLIED MATE.(2) CHINA DONGFA.(2)
EMPIRE TECHN.(2) HAIRUI HIGHT.(2) KOREA INST S.(2) SHANGHAI INS.(2)
UNIV JILIN(2) UNIV SHANGHA.(2) UNIV XIDIAN(2)