国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 H01B(6) C23C(5) C01B(3)
H01L(2)
IPC H01B005/14(6)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2014(4)  2015(2) 
专利权人