国家/地区 | 中国(9) 美国(2) |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)![]() |
IPC小类 |
C23C(8)
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2) C04B(2) C23F(2) |
IPC |
C23C016/26(4)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2) |
发明人 |
YU C(10)![]() |
公开年 | 2014(2) 2022(2) |
申请年 | 2014(2) 2022(2) |
专利权人 |
CHINESE ACAD.(3)
YU C(3)
HU S C(2)
LIN I(2)
SUNG C(2) |
LUO M, CHENG T, WANG X, ZU Y, YU C
YU C, JI F, XING Y, ZHANG X, WU M, LI Y, WU B, WANG Y, SHAN C, BEN H
LU H, CHEN J, YU C, WANG S, LI X, XU J
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
DU C, SHEN J, SHI H, YANG J, WEI D, YU C, SONG X, YU Y
SHI H, JIANG H, YANG J, ZHANG Y, WEI D, DU C, LI Z, ZHU P, HUANG D, YU C
DU C, JIANG H, LI Z, SHI H, YANG J, ZHANG Y, WEI D, ZHU P, HUANG D, YU C