国家/地区 中国(9) 美国(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(8) H01L(3) B82Y(2)
C01B(2) C04B(2) C23F(2)
IPC C23C016/26(4) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 YU C(10)
公开年 2014(2) 2022(2)
申请年 2014(2)  2022(2) 
专利权人 CHINESE ACAD.(3) YU C(3) HU S C(2) LIN I(2)
SUNG C(2)