国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 日本(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
H01B(6)
C23C(5)
C01B(3)
H01L(2) |
IPC |
H01B005/14(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2015(6)![]() |
申请年 | 2014(4) 2015(2) |
专利权人 |
GAO L, LIU Y, SUN J, WANG R, SHI L
NAITO K, AKASAKA Y, YANG T, YOSHINAGA N, YANG T Y, AKITA M
YOUN D H, CHOI C G, KIM J S, YU Y J, CHOI J S, CHOI H K
KIM S H, JANG J, SHIN K, SHIN K H
HASEGAWA M, KATO R, TSUGAWA K, ISHIHARA M, OKIKAWA Y, YAMADA T