国家/地区 |
美国(9)![]() |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C01(9)![]() |
IPC小类 |
C01B(9)![]() |
IPC |
C23C018/12(9)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(3) |
申请年 | 2014(3) |
专利权人 |
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
CHENG I, CHEN J, HSU C, CHOU P, LIU H, CHANG H, LIANG S, WU T, CHENG I C, CHEN J Z, HSU C C, CHOU P T, LIU H W, LIANG S P, WU T J
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
HERSAM M C, LIANG Y T, SECOR E B, PRABHUMIRASHI P L, PUNTAMBEKAR K P, GEIER M L
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E