国家/地区 中国(22) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(22)
IPC大类 C23(22)
IPC小类 C23C(22)
IPC C23C016/26(12) C23C022/34(5) C23C016/44(4)
C23C014/14(2) C23C014/35(2) C23C016/02(2)
C23C016/455(2) C23C016/56(2) C23C026/00(2)
H01L041/047(2) H01L041/113(2) H01L041/29(2)
发明人 LIU C(22)
公开年 2016(4) 2017(4) 2018(4) 2013(3) 2021(2)
申请年 2017(6)  2016(4)  2019(3)  2013(2)  2018(2)  2021(2) 
专利权人 HUNAN JINYU .(6) XIAMEN XICHE.(4) UNIV SOUTHEA.(3) LIAONING ADV.(2)
SHENYANG INS.(2)