国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC C23C016/26(5) C30B025/18(4) H01L021/205(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C30B025/00(2) C30B029/02(2) H01L021/20(2)
H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(7)
申请年 2013(4)  2012(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)