国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C30B025/18(3)
C23C016/02(2) C23C016/56(2) C23C028/00(2)
C30B029/02(2)
发明人
公开年 2013(6)
申请年 2013(4) 
专利权人