国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) H01L(4) C01B(3)
G01N(3) G02B(2)
IPC C23C016/455(7)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2015(2) 
专利权人