国家/地区 美国(7) 日本(4) 韩国(4) 中国(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 B01J(10)
IPC C23C016/26(8) C01B031/04(7) C23C016/02(5)
C01B031/02(4) B01J023/755(3) B01J021/04(2)
B01J027/24(2) C01B032/15(2) C01B032/186(2)
C23C014/06(2) C23C016/01(2) C23C016/18(2)
C23C016/455(2) C23C016/56(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2016(10)
申请年 2016(5)  2015(4) 
专利权人