国家/地区 美国(12) 中国(9) 世界知识产权组织(8) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 韩国(5) 加拿大(4) 澳大利亚(3) 巴西(2) 德国(2) 印度(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/04(14)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) WANG Y(2)
公开年 2021(7) 2013(2)
申请年 2020(5)  2013(2)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5)