国家/地区 美国(15) 中国(9) 韩国(9) 世界知识产权组织(9) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(5) 加拿大(3) 台湾(3) 巴西(2) 德国(2)
IPC部 B(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C23C016/455(18)
发明人 PARK S(2)
公开年 2016(5) 2013(4) 2014(2) 2021(2)
申请年 2013(4)  2015(3)  2012(2)  2014(2)  2016(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人