国家/地区 | 美国(6) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | BOL A A(2) LI X(2) |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | |
专利权人 | INT BUSINESS.(2) |
BOUCHIAT V, CORAUX J, HAN Z
VISSER R J, JEONG S, DODABALAPUR A
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
SONG Y, KIM H, HONG B, AHN J, AHN J H, HONG B H, KIM H K, SONG Y I