国家/地区 美国(20)
IPC部 C(20)
IPC大类 C01(20)
IPC小类 C01B(20)
IPC C23C016/52(20)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4)
公开年 2021(6) 2013(3) 2016(3) 2017(3) 2014(2)
申请年 2013(4)  2016(4)  2020(4)  2015(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) EMPIRE TECHN.(2)