国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/26(9) C01B032/186(7) H01L021/02(5)
C01B032/182(4) C23C016/02(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C23C016/50(3) C23C016/511(3)
C23C016/513(3) H01L029/16(3) C01B032/184(2)
C23C014/06(2) C23C014/18(2) C23C016/44(2)
发明人 SHIN H(5) BYUN K(4) BYUN K E(4)
SHIN H J(4) SHIN K(4) SHIN K W(4)
KIM C(3) LEE C(3) LEE C S(3)
SONG H(3) SONG H J(3) AHN S J(2)
AN S(2) CHO Y(2) CHO Y C(2)
公开年 2020(14)
申请年 2019(9)  2018(3)  2020(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5)

SHIN K, KIM C, YAMAMOTO K, LEE C, SONG H, LEE E, BYUN K, SHIN H, AN S, SHEN J, JIN C, SHAN B, LI C, SONG X, LI Y, BIAN Q, SHEN X, AN X, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, BYUN K E, SHIN H J, AHN S J