国家/地区 韩国(5) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/02(8)
发明人 NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(8)
申请年 2021(4)  2020(3) 
专利权人 LAM RES CORP(2)