国家/地区 | 韩国(5) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/02(8)![]() |
发明人 | NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2) |
公开年 |
2021(8)![]() |
申请年 | 2021(4) 2020(3) |
专利权人 | LAM RES CORP(2) |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
BURGGRAF J, JUERGEN B
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
CHOI H Y, PARK J W, EUGENE L, DOH C H, BAE Y
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I