国家/地区 日本(30)
IPC部 C(30)
IPC大类 C01(30)
IPC小类 C01B(30)
IPC C01B031/02(28) C23C016/26(18) C01B031/04(13)
B82Y030/00(10) B82Y040/00(10) H01L021/205(5)
B21B001/40(4) C01B032/186(4) C22C009/00(4)
C22C009/02(4) C22F001/08(4) H01B013/00(4)
B21B003/00(3) C22F001/00(3) C23C016/02(3)
发明人 CHIBA Y(5) CHIBA G(4) YOSHIHIRO C(3)
CHIBA YOSHIHIRO(2) HASEGAWA M(2) SATO M(2)
TSUKAHARA N(2) YAMADA T(2)
公开年 2013(16) 2012(9) 2014(5)
申请年 2012(30)
专利权人 JX NIPPON MI.(5) DOKURITSU GY.(4) NIPPON MININ.(4) NIPPON MININ.(4)
ULVAC INC(3) FUJITSU LTD(2) NIPPON MININ.(2) UNIV NAGOYA(2)

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H