国家/地区 世界知识产权组织(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21)
IPC小类 C01B(21)
IPC C01B031/04(18) C23C016/26(15) C01B032/182(10)
C01B032/186(9) C01B031/02(8) C01B032/194(7)
C01B032/184(5) B82Y040/00(4) C23C016/01(4)
H01L021/02(4) B32B009/00(3) B32B018/00(3)
C01B032/15(3) C01B032/18(3) C23C014/06(3)
发明人 JANG B Z(2) ZHAMU A(2)
公开年 2016(11) 2015(8) 2017(2)
申请年 2015(21)
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) ZHAMU A(2)