国家/地区 世界知识产权组织(22)
IPC部 C(22)
IPC大类 C01(22)
IPC小类 C01B(22)
IPC C23C016/26(13) C01B032/186(10) C01B031/04(8)
C01B032/194(8) C01B032/182(6) H01L029/16(5)
B32B009/00(4) B82Y030/00(4) C23C016/01(4)
C23C016/56(4) B32B038/10(3) B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) C01B032/184(3) C23C016/50(3)
发明人 BEDWORTH P V(3) LIU X(3) SINTON S W(3)
HEISE S E(2) KIM Y K(2) SWETT J L(2)
TANG Y(2) YONG K K(2)
公开年 2017(17) 2016(3) 2018(2)
申请年 2016(22)
专利权人 LOCKHEED MAR.(3) CHARMTRON CO.(2) CORNING INC(2)