国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9)
IPC C01B032/186(3) C23C016/02(3) C30B029/02(3)
H01L021/02(3) B82Y030/00(2) C23C016/04(2)
C23C016/26(2) C23C016/34(2) C30B025/02(2)
C30B025/18(2) C30B029/04(2) C30B029/38(2)
C30B029/40(2) C30B030/00(2) H01B001/06(2)
发明人
公开年 2021(9)
申请年 2020(6)  2021(2) 
专利权人