国家/地区 |
美国(18)![]() |
IPC部 |
C(18)![]() |
IPC大类 |
C23(18)![]() |
IPC小类 |
C23C(18)
C01B(10)
H01L(10)
C25D(6) B82Y(5) H01B(5) B32B(4) C30B(4) H01M(4) C23F(3) B05D(2) G03F(2) H01G(2) |
IPC |
C23C028/00(18)![]() |
发明人 |
CHEN C(2)
SON K(2)
TU C(2)
|
公开年 | 2013(3) 2014(3) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2018(2) 2021(2) |
申请年 | 2013(4) 2016(4) 2014(3) 2020(2) |
专利权人 | TAIWAN SEMIC.(2) |
KUBO T, OKADA M, SHIMIZU T, KAWAI H, KAWAI Y
TU C, CHEN C, YOO C S, CHANG J, TSAI C, LIU P, LEE H, LIN C, LIN Y, TU Z, CHEN J, CAI J, YOU Q, ZHANG Z, LIN Z, LIU B, LI X, YOO C
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M