国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 日本(4) 韩国(4) 台湾(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B031/02(9) C30B029/02(8) C01B031/04(7)
B82Y040/00(4) H01L021/02(4) B82Y030/00(3)
C23C016/26(3) H01L029/16(3) B82B003/00(2)
C30B001/02(2) C30B023/06(2) C30B025/00(2)
C30B025/02(2) C30B025/18(2) C30B029/68(2)
发明人 KELBER J(2)
公开年 2013(13)
申请年 2012(13)
专利权人 KELBER J(2) UNIV NORTH T.(2)