国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8)
IPC小类 B01J(8)
IPC C23C016/455(8)
发明人 KIM T(2)
公开年 2014(2) 2021(2)
申请年 2012(2)  2013(2)  2021(2) 
专利权人