国家/地区 美国(6) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 中国(2) 法国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B05(6)
IPC小类 B05D(6)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) B05D003/02(2)
B05D003/06(2) B05D003/10(2) B05D005/12(2)
C23C014/48(2) C23C014/58(2) C23C016/26(2)
C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(6)
申请年 2010(3)  2009(2) 
专利权人