国家/地区 | 中国(8) 美国(8) 世界知识产权组织(7) 日本(4) 德国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(11)![]() |
IPC大类 |
B32(11)
C23(11)
C01(7)
H01(6) B82(4) G02(2) H05(2) |
IPC小类 |
B32B(11)![]() |
IPC |
C23C016/26(11)![]() |
发明人 | WANG Y(2) |
公开年 | 2013(6) 2014(4) |
申请年 |
2013(11)![]() |
专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
CUI L, LI Y, SU Y, WANG Y, ZHANG L
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G