国家/地区 日本(14)
IPC部 C(14) H(7) B(5)
IPC大类 C01(14) H01(7) C23(5)
B82(3) C30(3) H05(3)
C07(2) C09(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/186(6) C23C016/26(5) C01B032/182(4)
C01B032/184(3) C01B032/194(3) H01L021/205(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/168(2)
C30B029/02(2)
发明人 IFUKU R(3) MATSUMOTO T(3) WADA M(3)
KABUKI N(2) LI L(2) TAKAHASHI K(2)
YAMADA H(2)
公开年 2022(14)
申请年 2022(14)
专利权人 TOKYO ELECTR.(5)