国家/地区 韩国(19) 美国(3)
IPC部 C(19) H(8) B(4)
G(3)
IPC大类 C01(19) H01(8) C23(5)
B01(3) G01(3) C08(2)
IPC小类 C01B(19)
IPC C01B031/04(11) C01B031/02(5) C23C016/26(5)
C01B032/186(3) B01J021/18(2) C01B032/194(2)
G01N033/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 HAM M H(5) SON M W(4) HAM M(2)
JANG J S(2) LEE B H(2) LEE S K(2)
YOON H J(2) YOON T H(2)
公开年 2015(6) 2016(3) 2017(2) 2018(2) 2022(2)
申请年 2014(6)  2015(4)  2016(2)  2018(2)  2020(2) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(19)