国家/地区 韩国(9) 美国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10) B(7) H(4)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/02(10) C23C016/26(8) C23C016/06(4)
C01B031/04(3) B01J019/08(2) B01J023/755(2)
C23C016/44(2) H01B001/04(2) H01L021/00(2)
发明人 JEON S(3) LEE J(3) BYUNG J C(2)
CHOI I S(2) HWANG J O(2) KIM S O(2)
LEE K J(2) OH S(2) SEOK W J(2)
公开年 2013(5) 2012(3)
申请年 2012(4)  2011(3)  2013(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(10)