国家/地区 日本(6) 台湾(4) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 C(6) H(5) B(4)
IPC大类 C01(6) H01(5) B82(4)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(6) B82Y040/00(4) B82Y030/00(3)
H01L021/28(3) H01L021/336(3) H01L029/78(3)
C01B031/04(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
C01B032/182(2) H01L021/285(2) H01L029/06(2)
H01L029/417(2)
发明人 ISHIHARA M(2) KAWABATA A(2)
公开年 2014(4)
申请年 2013(6)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)