国家/地区 日本(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14) H01(13) C09(5)
B01(3) B82(3)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/15(14)
发明人 KAWASAKI M(3) TAMAKI E(3) HIRAI Y(2)
ISOBAYASHI A(2) KAJITA A(2) OGUNI T(2)
SAITO T(2) SAKAI T(2) YOSHIHIDE H(2)
公开年 2017(14)
申请年 2016(14)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3) TORAY IND IN.(3) TOSHIBA KK(3)