国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14) B01(5) H01(4)
A61(2) C02(2) C08(2)
C12(2) D01(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/23(14)
发明人 OGUNI T(2) SEO S(2)
公开年 2021(14)
申请年 2020(8)  2021(5) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2) UNIV DHAHRAN.(2)