国家/地区 美国(13) 世界知识产权组织(11) 中国(9) 日本(7) 台湾(6) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 德国(2)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21)
IPC小类 C01B(21)
IPC C23C014/06(21)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SONG J(2)
SUNG C(2) YU C(2)
公开年 2016(3) 2010(2) 2013(2) 2015(2) 2017(2) 2018(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2014(3)  2009(2)  2013(2)  2015(2)  2016(2)  2018(2)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2) HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)