国家/地区 | 美国(5) 韩国(4) 澳大利亚(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 日本(2) |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/02(8)![]() |
发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
公开年 | 2021(7) |
申请年 |
2020(8)![]() |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) |
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
NING J, FENG X, WANG D, ZHANG J, MU M, HAO Y