国家/地区 美国(15)
IPC部 B(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15)
IPC C23C016/455(15)
发明人 PARK S(2)
公开年 2016(5) 2013(4) 2014(2)
申请年 2013(4)  2015(3)  2012(2)  2014(2) 
专利权人