国家/地区 日本(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/48(7)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2014(2) 
专利权人

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H