国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(8) B82(4)
B01(2) B32(2) C08(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC H01L021/02(8)
发明人
公开年 2015(8)
申请年 2015(5)  2014(2) 
专利权人